FIG㈱グループのREALIZE㈱は8月26日、最先端ロジック半導体の国産化を目指すRapidus㈱(ラピダス)が北海道千歳市に建設する半導体工場(Innovative Integration for Manufacturing：IIM-1)に自社開発搬送ロボットのAMR「WILL-FA」を導入することが決定したと発表した。
IIM-1は、自動運転やAIなど次世代の産業に欠かせないとされる2nm以下の最先端ロジック半導体を製造する施設で、ラピダスは2025年4月にパイロットラインを稼働し、2027年には量産を開始する計画としている。
今回のREALIZEによるAMR「WILL-FA」導入は、材料・部品容器のエリア間搬送業務の自動化を促進するもので、材料容器の自動搬送をエア・ウォーター㈱とクリーンルーム内の部品容器の自動搬送を第一実業㈱とそれぞれ共同で純国産の搬送ロボットによるソリューションを提案し、2025年の導入が決定したもの。純国産搬送ロボットのメリットでもある柔軟なカスタマイズ対応や手厚いアフターフォローにて最先端の半導体工場の自動化・省人化による生産性向上の一端を担うとしている。
AMR「WILL-FA」は、自己位置推定と環境地図作成を同時に行うSLAM(Simultaneous Localization And Mapping)技術を用いて、カメラやLiDAR(Light Detection And Ranging)等のセンサからの情報をもとに画像処理技術と組み合わせることで、周囲の空間情報を認識して自律走行をするほか、ネットワークやクラウドにより他の機器や施設内設備と連携が可能としている。
